寺坂 健一郎
研究のキーワード
プラズマ, レーザー, 半導体プロセス, プラズマ科学
これまでの卒業研究例
- プロセスプラズマの制御法の開発
- 光渦ビームを用いた新しいプラズマ診断法の開発
研究室紹介
プラズマは半導体製造をはじめとして，工業・産業・宇宙／エネルギー開発・農業・医療…と様々な分野で用いられています．なぜこのようにたくさんの分野でプラズマが用いられるのかというと，プラズマが液体や気体と違うプラズマならではの性質を持っているからです．一方で，プラズマの振る舞いは非常に複雑で，うまくプラズマを操るには性質を理解し，それを実際の装置に反映させるということをしなければなりません．
本研究室ではプラズマを用いた実験的研究を行っています．地球磁気圏から半導体プロセスなど我々の身近にあるプラズマを実験室に模擬し，「プラズマを知る」という観点から，より安定した放電を行うための方法やエネルギー制御などに関する研究を行っています．また，レーザーを中心とする光の技術をプラズマ科学に取り入れることで，新しい測定方法や制御方法を確立するための研究も行っています．
プラズマを専門的に学習する機会は大学（学部）全体でみても決して多くはありません．誰もが研究室に配属された時点で初心者であり，同じスタートラインで研究を開始することができます．プラズマやレーザーって面白そう，なんとなく格好良いと思ったあなた，プラズマを一緒に学んでみませんか？